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2026-07-29 52 新能源及电力行业报告
从 ITO 靶材制备方法来看,制备方法多样,冷等静压优势突出。ITO 靶材的制备方法主要有 4 种,分别为热压法、热等静压法、常温烧结法、 冷等静压法。冷等静压法制备 ITO 靶材优点:1)冷等静压法压力较大, 工件受力相对更加均匀,尤其适用于压制大尺寸粉末制品,符合 ITO 靶材 大尺寸的发展趋势;2)产品的密度相对更高,更加地均匀;3)压粉不需 要添加任何润滑剂;4)生产成本低,适合大规模生产。从冷等静压法主要制备流程看:1)制备粉末,选取氧化铟与二氧化 锡(纯度 99. 99%)进 行 乳 化 砂 磨 。其 中 加 入 2%—4% 的 聚 乙 烯 醇 (PVA)和 30% 的纯水进行砂磨。然后进行喷雾干燥,调节喷雾干燥塔参 数,喷雾制备不同松装密度的 ITO 粉 末 。 最 后 将 ITO 粉 末进行筛网筛 分,获得合格的 ITO 粉末;2)制备素胚,将 ITO 粉末装入橡胶模具中振 实,密封投料口,进行冷等静压,得到靶材素坯;3)结烧,将素坯放置 于常压烧结炉中,保温温度为 1450—1600 ℃,采用多个阶段保温烧结, 烧结过程中通入氧气。AZO 靶材有望替代 ITO 靶材。从整体上看,ITO 在光电综合性能上 高于 AZO 靶材,但 AZO 靶材的优势或将为靶材带来降本空间。在《AZO 和 ITO 薄膜性能对比及其在太阳电池中的应用》的相关实验中利用 AZO 靶材和 ITO 靶材制备了 3 组实验薄膜(共 6 份样品)。
实验中主要从光学 性能和电学性能上对 AZO 薄膜和 ITO 薄膜进行了对比。1)在特定情况下 AZO 靶材与 ITO 靶材电学性能差距缩小。根据最终实验数据来看,AZO 薄膜和 ITO 薄膜的方块电阻以及电阻率随着薄膜的厚度增加而降低,并且 随着薄膜厚度的增加,AZO 薄膜与 ITO 薄膜方块电阻以及电阻率之间的差 距逐步缩小。当 AZO 薄膜厚度为 640nm 时,方块电阻以及电阻率为 32Ω·sq -1和 20.48*10 -4Ω·cm;无铟化是靶材降本的主要途径。锌价远低于铟价,AZO 靶材性价 比高于 ITO 靶材。2020-2022 年,铟价和锌价整体呈现上涨趋势,且涨幅 较大。截至 2022 年 10 月 13 日,我国铟价为 1425 元/kg。截至 2022 年 10 月 14 日,我国锌价为 25528 元/吨。随着光伏行业对于 ITO 靶材的需求量 不断增加,铟价或将持续走高。“双碳”进程持续加速,光伏发电在可再生能源中占据重要地位。装 机量方面:1)从全球角度来看,能源安全意识增强,光伏装机量整体呈 现 较 高 增 速 。 根 据 IRENA 统 计 , 2021 年 全 球 新 增 光 伏 装 机 量 为 132.81GW,同比+5.74%。2021 年全球累计光伏装机量为 843.07GW,同 比+18.70%;2)从国内角度来看,我国光伏装机量持续高增。2022 年 H1 我国光伏新增装机容量 30.87GW,同比增长 137.26%。

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