半导体CVD和ALD用前驱体全球市场简报（7页）

行业报告下载 2023年12月27日 09:40 管理员

作为半导体薄膜沉积工艺的核心材料，ALD/CVD 前驱体市场目前的放缓主要是由于存储半导体价格降低（DRAM 和 3D NAND），相关供应商开工率下降。预计到 2024 年，市场将从目前的晶圆开工低迷中反弹。随着 2nm 和 3nm 逻辑器件的量产带动，45nm 以下节点的逻辑类 IC 需求量到 2027 年的复合年增长率有望达到 7%以上。此外，使用更多掩模层的逻辑 IC 增长将推动对与图案化和低 k 相关的金属和电介质前驱体的需求。DRAM 也在向 EUV 工艺过渡，而全球主要制造商将 3D NAND 竞相扩展到 200 层以上，并继续移动向更高层数，预计到 2030 年将出现超过 500 层的产品，高纵横比蚀刻的需求也将继续驱动前驱体材料市场发展。全球范围内半导体 CVD 和 ALD 用前驱体生产商主要包括 Merck、Air Liquide、SK Material、DNF、Yoke (UP Chemical)、Soulbrain、Hansol Chemical、ADEKA、Dupont、Nanmat 等。2022 年，全球前十强厂商占有大约 91.0%的市场份额。

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