SiC产业链报告：碳化硅材料（25页）

行业报告下载 2024年03月16日 08:32 管理员

以碳化硅材料为衬底的产业链主要包括碳化硅衬底材料的制备、外延层的生长、器件制造以及下游应用市场。从工艺流程上看，碳化硅一般是先被制作成晶锭，然后经过切片、打磨、抛光得到碳化硅衬底；衬底上生长单晶外延材料。外延片经过光刻、刻蚀、离子注入、沉积等步骤制造成碳化硅功率器件和碳化硅射频器件。将晶圆切割成 die，经过封装得到器件，器件组合在一起放入特殊外壳中组装成模组。碳化硅产业链附加值向上游集中，衬底和外延的成本占比最高。根据 CASA 整理的数据，产业链中，碳化硅衬底和外延的成本分别占整个器件成本的 47%和 23%，为产业链中价值量最大的两个环节，相比硅基器件、价值量显著倒挂。衬底在碳化硅产业链中价值量最高，高达 47%。碳化硅产业链附加值向上游集中，衬底和外延的成本占比最高。根据 CASA 整理的数据，产业链中，碳化硅衬底和外延的成本分别占整个器件成本的 47%和 23%，为产业链中价值量最大的两个环节，相比硅基器件、价值量显著倒挂。衬底的质量影响下游外延和器件的质量，优质的衬底可以抑制外延生长缺陷和器件性能退化，但衬底的控制难度又较大，其生产过程中的每个环节都具有较高技术要求，当每个环节都具有一定良率损耗时，合在一起就会产生指数级递增的损耗，碳化硅衬底龙头 Wolfspeed 良率也仅为 65%。

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