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2026-08-02 27 电子行业报告
ASM早期以CVD技术起家,后通过收购发展为全球ALD&碳化硅外延设备巨头。从1990年代起,ASM开始专注于ALD 设备的研发和商业化应用。在1994年和2004年,ASM分别收购了ASM Microchemistry(专注于ALD设备的研发)和ASM Genitech Korea(专注于PEALD设备的研发)。到了2007年,公司的Pulsar ALD设备成为全球首个用于大规模生产采用 新型铪基High-K介电材料器件的系统,由此确立了其作为全球最大的ALD设备供应商的地位,市场占有率超过50%。进 入2020年代后,ASM进一步拓展业务,将碳化硅外延设备作为公司的第二增长曲线。2022年,公司收购了位于意大利的 LPE公司,正式进入碳化硅外延设备市场。电动汽车市场的快速增长,成为了推动这一市场迅速扩张的主要动力。 随着AI与先进制程发展对半导体需求的日益增高,叠加3D DRAM和3D NAND存储芯片陆续完成研发扩产,ALD技术已 成为半导体晶圆设备中增长最快的领域之一。根据ASM在2023年投资者日披露的信息,2022年全球ALD市场规模达到26 亿美元,预计到2025年全球ALD市场规模将增长至31亿至37亿美元,到2027年市场规模将达到42亿至50亿美元,2022至 2027年间的复合年增长率(CAGR)预计为10%至14%。作为全球领先的ALD设备供应商,ASM公司将从这一增长趋势 中获益。

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